Ανάπτυξη κυψελών μνήμης με μη Πτητικό Χαρακτήρα

Abstract

Σκοπός της παρούσας εργασίας είναι η δημιουργία διάταξης που θα χρησιμοποιηθεί ως βάση για την ανάπτυξη μη πτητικής μνήμης που εκμεταλλεύεται το φαινόμενο σήραγγας. Για το λόγο αυτό αναπτύχθηκαν δοκίμια λεπτών υμενίων τριστρωματικής δομής Al - Al2O3 - Al με την μέθοδο της θερμικής εξάχνωσης και φυσικής οξείδωσης. Στα δοκίμια έγιναν επαναληπτικές διεγέρσεις και μετρήσεις για να διαπιστωθεί η ικανότητα ανάγνωσης και εγγραφής τους. Παρουσιάζονται οι μετρήσεις τάσης - ρεύματος (V - I) και τάσης αντίστασης (V - R), τα αποτελέσματα είναι ενθαρρυντικά για χρήση των δομών σε μη πτητικές μνήμες. Επίσης αναπτύχθηκαν δείγματα μη πτητικών μνημών τεχνολογίας αιχμής και χαρακτηρισμός τους μέσω ηλεκτρονικού μικροσκοπίου διέλευσης. Συγκεκριμένα αναπτύχθηκαν δύο διατάξεις μνήμης αλλαγής φάσης χαλκογενίδων και μια διάταξη μαγνητικής μη πτητικής μνήμης, με τις μεθόδους της απόθεσης ατομικού στρώματος και εξάχνωσης με δέσμη ηλεκτρονίων.