Παρακαλώ χρησιμοποιήστε αυτό το αναγνωριστικό για να παραπέμψετε ή να δημιουργήσετε σύνδεσμο προς αυτό το τεκμήριο:
http://artemis.cslab.ece.ntua.gr:8080/jspui/handle/123456789/18496
Τίτλος: | Κατασκευή συσκευής Spin Coating για Λιθογραφία |
Συγγραφείς: | Κοντόπουλος, Στέφανος Χριστοφόρου Ευάγγελος |
Λέξεις κλειδιά: | Επίστρωση περιστροφής Οπτική λιθογραφία Φωτοευαίσθητο πολυμερές Λεπτά υμένια Μικροελεγκτής |
Ημερομηνία έκδοσης: | 7-Οκτ-2022 |
Περίληψη: | Η παρούσα Διπλωματική Εργασία πραγματεύεται την ανάπτυξη μια συσκευής για τη δημιουργία λεπτών στρωμάτων πολυμερούς υλικού μέσω της τεχνικής: επίστρωση μέσω περιστροφής. Αρχικά, γίνεται μια ανασκόπηση της οπτικής λιθογραφίας που αποτελεί εφαρμογή αυτής της συσκευής. ́Ετσι γίνεται σαφής η χρησιμότητα της και στη συνέχεια αναλύεται η αρχή λειτουργίας της. ́Επειτα, αφού κατασκευασθεί και παρουσιαστεί η διάταξη, ακολουθεί το πειραματικό μέρος όπου παρουσιάζεται στην πράξη η αποτελεσματικότητα της στη λιθογραφία. Αυτό περιλαμβάνει, πέρα από τη δημιουργία λεπτού στρώματος πολυμερούς ρητίνης πάνω σε δισκίο πυριτίου, την αποτύπωση μιας συστοιχίας πυκνωτή μέσω της έκθεσης σε υπεριώδη ακτινοβολία. Τέλος, τα αποτελέσματα του πειράματος κρίθηκαν αρκετά ικανοποιητικά, καθώς αποτυπώθηκε πλήρως το ζητούμενο κύκλωμα, λαμβάνοντας υπόψιν και τις συνθήκες στις οποίες πραγματοποιήθηκε. |
URI: | http://artemis.cslab.ece.ntua.gr:8080/jspui/handle/123456789/18496 |
Εμφανίζεται στις συλλογές: | Διπλωματικές Εργασίες - Theses |
Αρχεία σε αυτό το τεκμήριο:
Αρχείο | Περιγραφή | Μέγεθος | Μορφότυπος | |
---|---|---|---|---|
Διπλωματική_Κοντόπουλος_Στέφανος.pdf | 18.2 MB | Adobe PDF | Εμφάνιση/Άνοιγμα |
Όλα τα τεκμήρια του δικτυακού τόπου προστατεύονται από πνευματικά δικαιώματα.