Please use this identifier to cite or link to this item:
http://artemis.cslab.ece.ntua.gr:8080/jspui/handle/123456789/18496
Title: | Κατασκευή συσκευής Spin Coating για Λιθογραφία |
Authors: | Κοντόπουλος, Στέφανος Χριστοφόρου Ευάγγελος |
Keywords: | Επίστρωση περιστροφής Οπτική λιθογραφία Φωτοευαίσθητο πολυμερές Λεπτά υμένια Μικροελεγκτής |
Issue Date: | 7-Oct-2022 |
Abstract: | Η παρούσα Διπλωματική Εργασία πραγματεύεται την ανάπτυξη μια συσκευής για τη δημιουργία λεπτών στρωμάτων πολυμερούς υλικού μέσω της τεχνικής: επίστρωση μέσω περιστροφής. Αρχικά, γίνεται μια ανασκόπηση της οπτικής λιθογραφίας που αποτελεί εφαρμογή αυτής της συσκευής. ́Ετσι γίνεται σαφής η χρησιμότητα της και στη συνέχεια αναλύεται η αρχή λειτουργίας της. ́Επειτα, αφού κατασκευασθεί και παρουσιαστεί η διάταξη, ακολουθεί το πειραματικό μέρος όπου παρουσιάζεται στην πράξη η αποτελεσματικότητα της στη λιθογραφία. Αυτό περιλαμβάνει, πέρα από τη δημιουργία λεπτού στρώματος πολυμερούς ρητίνης πάνω σε δισκίο πυριτίου, την αποτύπωση μιας συστοιχίας πυκνωτή μέσω της έκθεσης σε υπεριώδη ακτινοβολία. Τέλος, τα αποτελέσματα του πειράματος κρίθηκαν αρκετά ικανοποιητικά, καθώς αποτυπώθηκε πλήρως το ζητούμενο κύκλωμα, λαμβάνοντας υπόψιν και τις συνθήκες στις οποίες πραγματοποιήθηκε. |
URI: | http://artemis.cslab.ece.ntua.gr:8080/jspui/handle/123456789/18496 |
Appears in Collections: | Διπλωματικές Εργασίες - Theses |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Διπλωματική_Κοντόπουλος_Στέφανος.pdf | 18.2 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in Artemis are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.