Κατασκευή συσκευής Spin Coating για Λιθογραφία

Abstract

Η παρούσα Διπλωματική Εργασία πραγματεύεται την ανάπτυξη μια συσκευής για τη δημιουργία λεπτών στρωμάτων πολυμερούς υλικού μέσω της τεχνικής: επίστρωση μέσω περιστροφής. Αρχικά, γίνεται μια ανασκόπηση της οπτικής λιθογραφίας που αποτελεί εφαρμογή αυτής της συσκευής. ́Ετσι γίνεται σαφής η χρησιμότητα της και στη συνέχεια αναλύεται η αρχή λειτουργίας της. ́Επειτα, αφού κατασκευασθεί και παρουσιαστεί η διάταξη, ακολουθεί το πειραματικό μέρος όπου παρουσιάζεται στην πράξη η αποτελεσματικότητα της στη λιθογραφία. Αυτό περιλαμβάνει, πέρα από τη δημιουργία λεπτού στρώματος πολυμερούς ρητίνης πάνω σε δισκίο πυριτίου, την αποτύπωση μιας συστοιχίας πυκνωτή μέσω της έκθεσης σε υπεριώδη ακτινοβολία. Τέλος, τα αποτελέσματα του πειράματος κρίθηκαν αρκετά ικανοποιητικά, καθώς αποτυπώθηκε πλήρως το ζητούμενο κύκλωμα, λαμβάνοντας υπόψιν και τις συνθήκες στις οποίες πραγματοποιήθηκε.