Ανάπτυξη σημειακού αισθητήρα μέτρησης μαγνητικής διαπερατότητας

Abstract

Οι μαγνητικοί αισθητήρες διαδραματίζουν κρίσιμο ρόλο στη σύγχρονη τεχνολογία, προσφέροντας υψηλή ακρίβεια και ευαισθησία στην ανίχνευση και μέτρηση μαγνητικών πεδίων. Απαντώνται σε ένα ευρύ φάσμα εφαρμογών που συμβάλλουν στην ενίσχυση της ασφάλειας, της λειτουργικότητας και της αποδοτικότητας σε τομείς όπως η αυτοκινητοβιομηχανία, η ιατρική, η ναυτιλία και η πλοήγηση. Oι αισθητήρες αυτοί αξιοποιούν τις ιδιότητες των μαγνητικών υλικών, όπως τη μαγνητική διαπερατότητα, την ένταση του μαγνητικού πεδίου και τη μαγνητική επαγωγή, επιτρέποντας την μέτρηση και εξαγωγή κρίσιμων παραμέτρων για τη δομή και την κατάσταση ενός υλικού. Στην παρούσα διπλωματική εργασία πρόκειται να διερευνηθεί η αποτελεσματικότητα μιας καινούριας διάταξης αισθητήρα που έχει στόχο τον προσδιορισμό της σημειακής μαγνητικής διαπερατότητας φερρομαγνητικών υλικών, όπως του ηλεκτρικού χάλυβα. Σε μελλοντική δουλεία, θα γίνει συσχέτιση της διαπερατότητας με την κατάσταση υγείας του μετρούμενου υλικού, με τρόπο μη καταστροφικό, μέσω της καμπύλης MASC. Η διάταξη θα λειτουργεί σαν ένα ¨μαγνητικό μικροσκόπιο¨ και βασίζεται στο φαινόμενο της Ανισοτροπικής Μαγνητοαντίστασης. Για την κατασκευή του αισθητήρα χρησιμοποιήθηκαν κατασκευαστικές τεχνικές της Μικροηλεκτρονικής όπως Φωτολιθογραφία, Sputtering, Lift-off σε καθαρό χώρο.